课程简介
《纳米技术》是“电子科学与技术”、“微电子科学与工程”、“集成电路科学与工程”等学科、专业高年级学生的选修课程。主要讲授了纳米科技基础知识，纳米表征、观测与操纵技术，纳米材料、结构、器件的特性、制备方法及应用技术。通过学习本课程，学生将具备纳米基础知识，掌握纳米表征、加工技术，以及纳米材料、结构、器件在电、光、磁等领域的应用技术。为从事纳米材料加工，纳米新技术开发，纳米器件研制等工作奠定良好基础。
本课程内容新颖，紧贴纳米科技前沿，采用国内外最新研究文献和参考书籍作为电子教材。
课程大纲
纳米技术基础知识（4学时）
0绪论
1.1纳米物质
1.2纳米物质基础理论
1.3纳米物质的理化特性
纳米表征技术（6学时）
2.1引言
2.2纳米检测技术的发展
2.3纳米检测方法特点及分类
2.4扫描电子显微技术
2.5扫描探针显微技术
2.6扫描探针纳米加工技术
SEM应用实验（0.25）
纳米材料制备技术（6学时）
3.1定义、分类与应用
3.2超微颗粒的制备与应用
3.3富勒烯、纳米碳管、石墨烯
3.4纳米薄膜的制备与应用
3.5纳米块体材料及其制备
纳米结构构筑（上）（4学时）
4.1纳米膜及超晶格技术
4.1.1外延技术
4.1.2CVD纳米膜技术
4.1.3PVD纳米膜技术
4.2纳米光刻技术
4.2.1光刻简介
4.2.2光刻工艺
4.2.3光刻版和光刻胶
纳米结构构筑（下）（4学时）
4.2.4刻蚀技术
4.3纳米压印技术
4.4模板合成技术
4.5自组装技术
纳米器件（上）（4学时）
5.1固态纳米电子器件
5.1.1概述
5.1.2纳米电子器件基础
5.1.3共振隧穿器件
5.1.4单电子器件
5.1.5碳纳米管（线）场效应晶体管
学生报告展示
纳米器件（下）（4学时）
5.2分子电子器件
5.3纳米光电器件
5.4纳米磁性器件
学生报告展示
0绪论
1.1纳米物质
1.2纳米物质基础理论
1.3纳米物质的理化特性
纳米表征技术（6学时）
2.1引言
2.2纳米检测技术的发展
2.3纳米检测方法特点及分类
2.4扫描电子显微技术
2.5扫描探针显微技术
2.6扫描探针纳米加工技术
SEM应用实验（0.25）
纳米材料制备技术（6学时）
3.1定义、分类与应用
3.2超微颗粒的制备与应用
3.3富勒烯、纳米碳管、石墨烯
3.4纳米薄膜的制备与应用
3.5纳米块体材料及其制备
纳米结构构筑（上）（4学时）
4.1纳米膜及超晶格技术
4.1.1外延技术
4.1.2CVD纳米膜技术
4.1.3PVD纳米膜技术
4.2纳米光刻技术
4.2.1光刻简介
4.2.2光刻工艺
4.2.3光刻版和光刻胶
纳米结构构筑（下）（4学时）
4.2.4刻蚀技术
4.3纳米压印技术
4.4模板合成技术
4.5自组装技术
纳米器件（上）（4学时）
5.1固态纳米电子器件
5.1.1概述
5.1.2纳米电子器件基础
5.1.3共振隧穿器件
5.1.4单电子器件
5.1.5碳纳米管（线）场效应晶体管
学生报告展示
纳米器件（下）（4学时）
5.2分子电子器件
5.3纳米光电器件
5.4纳米磁性器件
学生报告展示